更新日: 2022年3月4日
＜研究事業名＞ 超精密加工技術開発事業
＜研究テーマ＞ 研削加工による超精密・鏡面部品の高能率加工プロセスの開発
＜担当者名＞ 林博，家口心，久田哲弥
＜目的＞ 非軸対称非球面光学素子の加工技術を開発する。
＜内容および結果＞
1．概要
情報関連機器の高性能化，小型化を達成するために，部品として用いられる光学素子の高精度化，低価格化が求められている。本研究では，非軸対称非球面レンズ金型を製品モチーフとして，研削加工による高精度・高能率な自由曲面加工技術の開発を進めている。
2．研究内容
2.1 形状精度の向上
円弧包絡研削法で曲面を加工した場合，断面の形状測定で中央部に凹みが発生し，形状精度低下の原因となっていた。原因調査を行った結果，砥石上下動の動作精度の影響が考えられるため，加工機の上下動の干渉となる箇所を調査し，水よけカバー類など改善を行った。
また，砥石送り速度による影響も調査し，加工条件の最適化を行った結果，加工品の形状精度は0.5〜1.0μmから0.3〜0.5μmへ向上した。
2.2 表面粗さの向上
砥石の結合材の違いによる表面粗さへの影響を調べるため，加工実験を行った。その結果，硬い結合材(BL1)で良好な表面粗さが得られた。
さらに粒度を変えた実験を行い，30nmPV未満の表面粗さを達成した。
3．技術移転
自由曲面加工および鏡面研削加工について，5企業に対して技術改善支援による技術移転，試作加工を実施した。
