更新日: 2022年3月4日
＜研究事業名＞ 新素材応用研究開発事業
＜研究テーマ＞ リサイクル型高性能吸着プレート材の開発
＜担当者名＞ 阿部一彦，斎藤雅弘
＜目的＞
半導体をはじめ多くの製造現場で使用されているワークの搬送・固定用としての真空吸着プレート材の性能向上のため，気孔分布を任意に制御した多孔質吸着プレート材を開発する。さらに，多孔質体製造に関する基盤技術を応用することにより，廃液や排ガスフィルターなどへの他用途展開も図る。
＜内容および結果＞
1. 概要
1.1 無機質系多孔質体の調査研究
昨年度に引き続き，他用途展開を踏まえた特許戦略の検討を行った。
1.2 吸着プレート材の第2次・第3次試作の完了
吸着プレート材の基本特性を維持して生産性，大型化，再現性などのFSを行った。
1.3 他用途探索及び試作
工作機械廃液処理用フィルターとディーゼル車用排ガスフィルターへの応用展開の可能性の探索を行った。
2. 結果
2.1 無機質系多孔質体の調査研究
排ガス及び廃液フィルターのスペックを明らかにした。
2.2 吸着プレート材の第2次・第3次試作の完了
(1) 丸型でφ200mm，角形で□100mmの一体物の試作に成功した。また吸着プレート用ベース台の最適化を行い，ステンレス多孔質体□50mmを9枚組み合わせることにより，□150mmの多分割方式の試作を行った(下図)。
(2) 厚さ方向に対して1バッチ10枚取りを行い，丸形で硬さのバラツキ3％以内，角形で5％以内と言う再現性の高い多孔質体の作製に成功した。
2.3 吸着プレート材以外の他用途探索及び試作
SiC原料粉末に対してY2O3を混合して3mm以上の造粒粉を作製し，仮焼結後にSPSによる本焼結プロセスを経て，ディーゼル車用排ガスフィルター材の第一次試作を行った。