説明
用途
- 透明な薄膜（酸化膜，窒化膜，フォトレジストなど）の膜厚測定
スペック・付属品等
- 分光波長範囲:400〜850 nm
- 分光器の形式:1024 素子CCD付固定型
- Czerny-Tuner形分光器
- 膜厚測定精度:±1 nm(500 nm測定時)
- 膜厚測定範囲:〜20 μm(×5)
- 〜15 μm(×10)
- 〜 2 μm(×50)
更新日: 2021年11月11日
顕微鏡式薄膜測定装置
料金
使用料金：¥600円（1時間あたり）
| 研究員による支援 3,900円/時 操作法説明 3,900円/時 時間外の機器利用料は2割増となります。 |
施設機器の利用制限
---
同一カテゴリの機器
QRコード
印刷