説明
用途
- 基板上の段差や表面形状の測定
スペック・付属品等
- スキャン長MAX10 mm
- スキャンスピード2 μm/sec〜25 mm/sec
- スキャン方式 ステージ固定 スタイラス駆動
- サンプルサイズ MAX158 mm×158 mm
更新日: 2021年11月11日
触針式段差計
特徴
高精度な表面の凹凸測定
機種
テンコール・インスツルメンツ・ジャパン
ALPHA STEP 500
料金
使用料金：¥650円（1時間あたり）
| 研究員による支援 3,900円/時 操作法説明 3,900円/時 時間外の機器利用料は2割増となります。 |
施設機器の利用制限
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