表面粗さ・形状測定機

説明

用途

• 表面粗さ測定
• 二次元形状測定、三次元形状測定、非球面形状測定

スペック・付属品等

• 測定方式：接触式（スタイラス走査式）
• スタイラス
  • ダイヤモンド円錐スタイラス（先端＝2[μmR]、円錐角＝30°、40°、60°、90°）
  • ルビーボールスタイラス（先端＝φ0.5[mm]）
• 測定範囲
  • X方向：200[mm]
  • Y方向：100[mm]（Y軸テーブル使用時）、25[mm]（ゴニオステージ使用時）
  • Z方向：12.5[mm]（60mmスタイラス使用時）、25[mm]（120[mm]スタイラス使用時）
• 分解能
  • X方向：0.125[μm]
  • Y方向：0.1[μm]
  • Z方向：0.8[nm]
• 接触圧：0.75[mN]（≒75[mg]）
• 耐荷重：50[kg]（石定盤上）、10[kg]（Y軸テーブル上）、1.5[kg]（ゴニオステージ上）
• 解析機能：断面形状（距離、角度、曲率半径）、粗さ、うねり、非球面
• 保存形式：専用形式、テキスト形式、PDF形式、JPEG形式
• 記録媒体：紙、フラッシュメモリ