説明
用途
- フォトマスクを使ってレジストを露光する装置
- MEMSやマイクロセンサの開発
スペック・付属品等
- マスクサイズ： 2.5インチ□，5インチ□
- ウエハチャック： 4インチφ
- 露光光源： 高圧水銀灯（405 nmで照度15 mW/cm2 以上）
更新日: 2021年11月17日
両面マスクアライナー
特徴
- 両面アラインメントを行って紫外線で露光することが可能
機種
ユニオン光学（株）
PEM-800
料金
使用料金：¥700円（1時間あたり）
| 研究員による支援 3,900円/時 操作法説明 3,900円/時 時間外の機器利用料は2割増となります。 |
施設機器の利用制限
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