更新日: 2021年11月09日

工具評価用電子顕微鏡

特徴

簡易な操作で微小部の形状観察，測定が可能
15～10,000倍程度まで拡大可能（サンプルによります）
EDX検出器による元素分析，元素マッピングが可能

機種

キーエンス　VE-8800
EDAX　EDX　APPOLO　XPP

カテゴリー: 材料加工関連機器

料金

使用料金：

¥1,100円（1時間あたり）

研究員による支援 3,900円/時
操作法説明 3,900円/時
時間外の機器利用料は2割増となります。

施設機器の利用制限

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説明

説明

用途

工具欠け部の形状観察，測定
コーティング膜や異物の元素分析

スペック・付属品等

観察モード：高真空
観察像：二次電子像
加速電圧：0.5～20kV
観察範囲：9×7mm～1.3×1μm
最大試料サイズ：φ64mm
3D計測機能：試料任意区間プロファイル計測
検出可能元素：Be～Am

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