説明
用途
- 基板へのレジスト塗布
スペック・付属品等
- 試料サイズ：最大100 mmφ
- 回転数： 300～8,000 rpm
- プログラム可能
更新日: 2021年11月17日
スピンコータ
特徴
- 試料台に真空吸着してレジストを回転塗布することが可能
機種
ミカサ（株）
1H-D7
料金
使用料金：¥300円（1時間あたり）
| 研究員による支援 3,900円/時 操作法説明 3,900円/時 時間外の機器利用料は2割増となります。 |
施設機器の利用制限
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