超精密非接触三次元形状評価装置

説明

用途

• 三次元形状測定
• 断面形状解析（寸法・角度・曲率半径など）
• 工具摩耗の差分解析

スペック・付属品等

• 寸法上限：幅300[mm]×奥行300[mm]×高150[mm]
• 積載上限：20[kg]
• 水平分解能：5.6[μm]～0.4[μm]
• 垂直分解能：47,100[nm]～10[nm]

※鏡面や透明なサンプルの測定はできません。