材料表面分析技術の高度化

　表面の構造・組成は表面の物性・性質と関連が深く，表面構造や組成の制御が重要である。そのため，材料開発の促進や表面で発生する不具合対策を講じるためには，表面状態を正しく分析・評価することが必要である。そこで，材料開発及び不具合解析に必要な表面分析の技術を向上することを目的として，ラマン分光法による各種材料の測定条件確認等の基本的ノウハウの習得からマッピング分析（深さ方向，成分分析）についての分析事例蓄積を行った。